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Almatec AODD 泵新增超高纯半导体流体处理预验证数据

Dover旗下Almatec宣布,其FUTUR系列AODD泵现已提供支持超高纯(UHP)可靠性的预验证数据。公司称,FUTUR T和FUTUR H型号可按半导体UHP应用所需的颗粒洁净度阈值进行单独测试和验证,并附带每台泵的预验证UHP数据。……